| 339 |
Spatial Raman Mapping to Probe Size Dependent Electron-phonon Interaction in Silicon Nanostructures
Chanchal Rani, Manushree Tanwar, Rajesh Kumar
한국고분자학회 2021년 가을 학술대회 |
| 338 |
Angular dependence of etch rates in fluoro-ether/O2/Ar plasmas
유상현, 김창구
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 337 |
Angular dependence of SiO2 etch rates in hydrofluoroalcohol-containing plasmas
선은재, 김창구
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 336 |
3D Feature profile simulation of oxygen effects in plasma oxide etching process
박재형, 유혜성, 장원석, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 335 |
Halogen-free Atomic Layer Etching of Metal Oxides
이정빈, 노재홍, 박태주, 김우희
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 334 |
Research of Inorganic Extreme Ultraviolet Photoresists Based on Silver Ethyl Xanthate
지형준, 김수찬, 양경민, 유지범, 이영관
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 333 |
BCl3 based ICP Etching of (100) β-Ga2O3 flake
김만경, 김유경, 백광현, 장수환
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 332 |
N2/He Plasma Inhibitor 개발을 통한 공간 분할 PE-ALD시스템에서의 메모리 Gap-fill공정 설계
이백주, 서동원, 황재순, 최재욱
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
| 331 |
Lift-off Fabrication Suitable for Design of Thick Multilayer Dielectric Reflective Film in Laser Direct Patterning Photo Mask for 1064nm Wavelength
인장식, 정대용, 지성엽, 김민규
한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
| 330 |
Graphene applied materials for semiconductor process
이관형
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
