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Photochemical etching study on (-201) and (010) plane β-Ga2O3 single crystal
정선우, 백광현, 장수환
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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Study on the Surface Potential Defects Behavior of P-type silicon wafer
신정원, 함호찬
한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Focus ring의 재질 및 구조 변화를 통한 Focus ring의 etch resistance 향상에 관한 연구
김수강, 양경채, 이호석, 이수정, 이원오, 염근영
한국재료학회 2017년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposited Gate Spacer for New Memory Devices
이재민, 장우출, 김현정, 권영균, 전형탁
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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NF3/H2O의 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구
이구봉, 김현태, 김민수, 최인찬, 장성해, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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9Remote plasma ALD of Silicon nitride at low temperature for gate spacer
김만석, 장우출, 김현정, 이재민, 이건영, 신창희, 권영균, 임희우, 전형탁
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Investigation and origin of abnormal small heptagonal-shape etch pits on PVT grown C-face 4H silicon carbide
Myoungho Jeong, Dong Yeob Kim, Duy Khanh Tran, Soon-Ku Hong, Myoung-Chuel Chun, Won-Jae Lee, Tai-Hee Eun, Jeong Yong Lee
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Etchant wettability in bulk micromachining of Si by metal-assisted chemical etching
Yeong Bahl Lee, Dahl-Young Khang
한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Effect of Bias Frequency on the Etching of Magnetic Tunnel junction Materials
Geun Young Yeom, Kyong Nam Kim, Kyung Chae Yang, Sung Woo Park
한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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세정액에 따른 Sb 기반 반도체의 표면 특성 변화
임상우, 나지훈, 이진훈, 서동완
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
