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Nanoimprint Lithography 기술과 Reactive ion etcing 기술을 이용한 수십 나노급 상변화 물질 패턴 형성 연구
양기연, 김종우, 홍성훈, 이헌
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Bi2Te3 doped Ge2Sb2Te5 Thin Films for the Phase Change Random Access Memory Applications
오진호, 류승욱, 최병준, 최설, 황철성, 김형준, 손영진, 박해찬, 홍석경
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Te기반 칼코제나이드 반도체 박막의 초해상 기구 규명에 관한 연구 (An experimental investigation on the origin of super-resolution effects of Te-based chalcogenide semiconducting thin films)
이현석, 이택성, 정증현, 김원목, 김동환, 정병기
한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
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Etch characteristics of GeSbTe thin films by inductively coupled plasma reactive ion etching
박익현, 이장우, 정지원
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 Ge2Sb2Te5 박막의 결정화 거동 및 전기적 특성에 관한 연구|The study of the crystalline behavior and electrical property of nominal-composition Ge2Sb2Te5 thin films prepared by dc-magnetron sputtering
김현정, 권순용, 최시경, 박주철, 임창빈
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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준안정상 Ge2Sb2Te5의 결정화 및 결정립 성장에 관한 미세구조 연구|Microstructural Characterization on the Crystallization and Grain Growth of the Meta-stable Ge2Sb2Te5
박유진, 이정용, 염민수, 김용태
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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상분율에 따른 Ge2Sb2Te5의 전기적 특성 변화 시뮬레이션|simulation for electrical property of Ge2Sb2Te5 according to crystalline volume fraction
김성순, 구창효, 이홍림, 이근호
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 Ge2Sb2Te5 박막의 증착|Deposition of Ge2Sb2Te5 thin films by DC magnetron sputtering
송영수,변요한,김혜인,정지원|Young Soo Song,Yo Han Byun,Hye In Kim,Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
