| 번호 | 제목 |
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UV/O3와 ECR plasma를 이용한 실리콘 웨이퍼상의 유기오염물의 건식세정|UV/O3와 ECR plasma를 이용한 실리콘 웨이퍼상의 유기오염물의 건식세정 이종무 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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CN계 나노구조의 구조적·광학적 특성 홍주형, 한윤봉, 김상훈 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
| 3 |
A study on the EDLC electrochemical characteristics by oxidation treatment of carbon nanotubes electrode 김연석, 박달근, 이중기, 주재백, 손태원 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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PECVD 에 의한 carbon nanotube 증착에서 H2 plasma전처리의 영향|Effects of H2 plasma pretreatment on the deposition of crbon nanotube by PECVD 김영훈, 박달근, 이중기, 주재백, 손태원|Young Hoon kim, Dal Keum Park 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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환경친화적 O2,H2 플라즈마를 이용한 Photoresist 세정효과|The Effects of Photoresist Cleaning Using Envronmetal-friendly O2, H2 plasma 소현,김의열,김양도,전형탁,김영채|Hyun Soh,Ui Yeul Kim,Yangdo Kim,Hyeongtag Jeon,Young Chai Kim 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
