화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 Electrical properties of MIM capacitor with La2O3 dielectrics deposited by ALD
조상진, 하정숙, 김수영, 박원태, 강동균, 김병호
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
3 PLD에 의해 성장된 크롬 도핑된 박막의 저항 변화|SWITCHABLE RESISTANCE CHANGE OF Cr-DOPED SrTiO3 THIN FILMS GROWN BY PULSED LASER DEPOSITION
정철호, 최택집, Phan Bach Thang, 이재찬
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
2 다양한 슬러리 조건에서의 Ru 박막의 Etching 및 Polishing 거동|Etching and Polishing Behaviour of Ru Thin Film at Various Slurries Condition
이진형, 이상호, 박진구
한국재료학회 2004년 가을 학술대회
1 MOCVD법을 이용하여 증착된 (Ba,Sr)RuO3 박막의 특성평가|CHARACTERIZATION OF (Ba,Sr)RuO3 FILMS DEPOSITED BY MOCVD
김병수, 김윤수, 김현철, 최덕균
한국재료학회 2003년 가을 학술대회