| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
반도체 제조용 실란 PCVD 반응기에서의 입자 오염|The Particle Contamination in Silane PCVD Reactor for Semiconductor Fabrication 김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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반도체 제조용 실란 PCVD 반응기에서의 입자 오염|The Particle Contamination in Silane PCVD Reactor for Semiconductor Fabrication 김동주, 김교선|Dong-Joo Kim, Kyo-Seon Kim 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |