| 번호 | 제목 |
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플라즈마 CVD 용 기판 가열기 해석|Heat Transfer Analysis of Substrate Heater for Plasma CVD 최락준, 임연호, 정탁, 한윤봉|Rak Jun Choi, Yeon Ho Lim, Tak Jeong, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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수소(운반기체)를 사용하여 제조된 Iron silicide 막의 특성|The Characteristics of Iron Silicide Films Prepared by Using Hydrogen(Carrier Gas) 김경수, 전법주, 윤용수, 정일현|Kyung-soo Kim, Bup-ju Jeon, Yong-soo Yoon, Il-hyun Jung 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
