| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
고밀도 플라즈마를 이용한 반도체 재료 식각기술|Etching Technology of Semiconductor Materials in High Density Plasmas 한윤봉|Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 반도체 재료 식각기술|Etching Technology of Semiconductor Materials in High Density Plasmas 한윤봉|Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |