| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 3 |
Pt 박막을 이용한 온도 센서의 제조|The Fabrication of temperature sensor using Pt thin film 김지광, 김종성, 신영화|Jikwang Kim, Jongsung Kim, Younghwa Shin 한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
| 2 |
졸-겔법에 의한 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3(PMN-PT) 박막 제조|The Fabrication of 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3(PMN-PT) Thin Film via Sol-gel Method 김지광, 임동규, 김종성, 신영화|Jikwang Kim, Dongkyu Lim, Jongsung Kim, Younghwa Shin 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
| 1 |
비휘발성 반도체 메모리 응용을 위한 유도결합 플라즈마에서 Pt/PZT/Pt 박막 커패시터의 건식 식각|Dry Etching of Pt/PZT/Pt Thin Film Capacitors in an Inductively Coupled Plasma (ICP) for Nonvolatile Memory 정지원, 김창정|Chee Won Chung, Chang Jung Kim 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
