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Quantitative Comparison of Silica and Ceria Abrasive Contamination on PVA Brush and Its Effect on Post CMP Cleaning Process
조휘원, 류헌열, 황준길, 이찬희, 김여호, 김태곤, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구
한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
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Study of the structural analysis of Ag/Sn/Ag backside metal of high-temperature material semiconductor device
최여진, 최진석, 남상열, 안성진
한국재료학회 2019년 봄 학술대회 |
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Development of New Ethcing Gas for Cu Dry Etching and Dry Etching Process with Small Chelators
김철희, 정지원, 임은택, 김동욱
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
| 27 |
Total Organic Carbon Reduction for Ultrapure Water by Surface Modified Magnetic Particles and Ion-exchange Resin Micro-composite
박지현, 이정준, 김보현, 박동혁, 이선종
한국고분자학회 2018년 가을 학술대회 |
| 26 |
Newly Synthesized Fluorine Containing Sub-10 nm Block Copolymer
조성준, 류두열
한국고분자학회 2018년 봄 학술대회 |
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3D Feature profile simulation for oxide etching under fluorocarbon/oxygen mixture plasma
박재형, 유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
| 24 |
Recycling of Waste Low-Temperature Co-Fired Ceramic (LTCC) and Selective Recovery of silver through hydrometallurgy and wet chemical reduction hybrid process
Basudev Swain, 신동윤, 주소영, 안낙균, 이찬기, 윤진호
한국공업화학회 2017년 봄 학술대회 |
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Real-time Multivariate Model Predictive Control of Plasma Etch Process
박담대, 구준모, 하대근, 유상원, 노현준, 한종훈
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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Control Strategies for Plasma Etching Process of Si in SF6/O2
한종훈, 구준모, 하대근, 박담대
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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Statistical variable selection of OES signal for identifying key process characteristics in plasma etching
하대근, 구준모, 박담대, 노현준, 유상원, 한종훈
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
