| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
PECVD 증착 조건에 따른 SiNx:H 반사방지막의 구조적 및 광학적 특성(The structural and optical characteristics of antireflective SiNx:H thin films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition) 이민정, 이동원, 최대규, 이태일, 명재민 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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PECVD 증착 조건에 따른 SiNx:H 반사방지막의 구조적 및 광학적 특성(The structural and optical characteristics of antireflective SiNx:H thin films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition) 이민정, 이동원, 최대규, 이태일, 명재민 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |