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단일 패널 LCoS 디스플레이를 위한 무기 배향막의 경사 증착 특성|Characteristics of inorganic alignment layer for single panel LCoS by obliquely deposition
이찬재, 김원근, 한정인, 이유진, 김민석
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Metal gate 적용을 위한 Mo based electrode의 열적 안정성 평가|Thermal stability of Mo based electrode for metal gate application
이진우, 김지영
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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PECVD Chamber 구조가 SiO2 박막 증착의 균일도에 미치는 영향에 관한 연구|Numerical Studies on Effect of Chamber Geometry on Uniformity of SiO2 Deposited by PECVD
김성재,김헌창,임계규|Seong Jae Kim,Heon Chang Kim,Key Kyu Lim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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졸-겔법으로 제조된 Ag-SiO2 코팅막의 광학적 특성|Optical properties of Ag-SiO2 coatings by Sol-Gel processing
전형준,오성근,이성철,원형식,송석호|Hyung-Jun Jeon,Seoung-Geun Oh,Sung-Chul Yi,Hyong-Sik Won,Seok-Ho Song
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar과 C2F6/Ar 가스를 사용한 Polysilicon 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Polysilicon Thin Film in Cl2/Ar and C2F6/Ar Gases
변요한, 김혜인, 정지원|Yo Han Byun, Hye In Kim, Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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Sol-Gel법을 이용한 TiO2 Sol 합성과 Si 기판 위에 코팅된 TiO2 박막의 친수 특성|Synthesis of TiO2 sol by sol-gel process and hydrophilic property of TiO2 thin film coating on Si
김사라, 조운조, 박재관, 이용철|S. R. Kim, W. J. Cho, J. G. Park, Y. C. Lee
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
