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Atomic layer deposition of ZnO using alcohol as an oxidant
한승주, 신석희, Zhenyu Jin, 권도현, 민요셉
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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DC/RF sputtering을 이용한 투명 디바이스용 다층 구조 IZO/Ag/IZO 박막의 전기적 광학적 특성 (Electrical and optical properties of IZO/Ag/IZO multilayer film deposited by DC/RC sputtering for transparent devices)
김윤철, 이수정, 명재민
한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
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급속열처리를 이용한 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화 연구
김현호, 박효민, 박성은, 이해석, 지광선, 안세원, 이헌민, 김동환
한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
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Cu CMP중 Citric Acid 기반의 Slurry에서 부식방지제(BTA)의 영향|Effect of Corrosion Inhibitor (BTA) on Citric Acid based Slurry on Cu CMP
유영삼, 김인권, 양희광, 강영재, 홍의관, 박진구
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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기계·화학적인 연마에서 슬러리의 특성에 따른 나노토포그래피의 영향과 numerical 시뮬레이션|Effect of Slurry Characteristics on Nanotopography Impact in Chemical Mechanical Polishing and Its Numerical Simulation
Takeo Katoh, Min-Seok Kim, Ungyu Paik, Jea-Gun Park
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 연마입자의 결정특성에 따른 평탄화 효율의 의존성|Dependency of Planarization Efficiency on Crystal Characteristic of Abrasives in Nano Ceria Slurry for Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing
Hyun Goo Kang, Takeo Katoh, Sung Jun Kim, Ungyu Paik, Jea-Gun Park
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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광경화성 고분자의 경화 조건에 따른 광학특성 변화 연구
조정환;이원주;송기국
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Unsaturated Polyester 나노복합재 제조에 관한 연구
위인전;송기국
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
