| 번호 | 제목 |
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BCl3 Gas와 Ar Neutral Beam을 이용한 High-k Dielectric Material의 초정밀 저손상 원자층 식각 김찬규, 민경석, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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플라즈마 MOCVD를 이용한 SrTiO3 박막 증착 및 특성|Properties of SrTiO3 Thin Films Prepared by Plasma Enhanced Metal Organic Chemical Vapor Deposition 김도오, 최락준, 임연호, 조범철, 남기석, 한윤봉|D.O.Kim, R.J.Choi, Y.H.Im, B.C.Cho, K.S.Nahm, Y.B.Hahn 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
