| 번호 | 제목 |
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유기금속 화학증착법으로 제조된 알루미늄 박막의 증착특성|Properties of Chemically Vapor Deposited Aluminum Prepared From Dimethylethylamine alane 김도형, 임경택, 김병엽, 박진원|Do-Heyoung Kim, Gyeong Taek Lim, Byung-Yup Kim, Jin. W. Park 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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TMEDAA를 이용한 알루미늄 박막의 유기금속 화학증착에 관한 연구|Study on the Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) of Aluminum Thin Film from Tetramethylethylenediamine Alane (TMEDAA) 김대환, 박만영, 이시우|Dae-Hwan Kim, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착공정에서의 기사반응 메카니즘 연구|Study on Gas Phase Reaction Mechanism for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Process of DMEAA 박만영, 윤종호, 이시우|Man-Young Park, Jong-Ho Yun, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
