화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 STI CMP용 Ceria Slurry에 관한 연구 무기 연마 입자와 유기 첨가제
소재현, 김사라, 김남수, 이동준, 양승만
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
2 Preparation and Characterization of Mesoporous Silica Asymmetric Ceramic Membranes
오석일, 강태욱, 문정우, 김홍곤, 이종협
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
1 A Study on Polyelectrolyte at Ceria-water interface for STI CMP
김사라, 소재현, 김남수, 이동준, 양승만
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회