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Realistic and real-time contact hole etch process simulation: 3D-SPEED 육영근, 임연호, 장원석, 유동훈, 최광성, 조덕균, 이세아 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Multi-GPUs based 3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etch process 조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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3D feature profile simulation of mask effects in high aspect contact hole etch process 천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 임연호 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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Large scale feature profile simulation for plasma etch process of high aspect ratio contact hole 육영근, 유동훈, 장원석, 최광성, 조덕균, 천푸름, 이세아, 임연호 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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3D feature profile simulation coupled with realistic surface kinetic chemical reaction for pulsed etch process in fluorocarbon plasmas 조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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Plasma surface kinetic studies for high-aspect ratio contact hole etch profile simulation 천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 권득철, 임연호, 장원석 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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GPU based 3D feature profile simulation for ultra-high deep etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas 천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
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3D feature profile simulation based on realistic surface kinetic studies of silicon dioxide etch process in C4F6/Ar/O2 plasmas 장원석, 유동훈, 조덕균, 육영근, 천푸름, 이세아, 김진태, 김상곤, 권득철, 송미영, 윤정식, 임연호 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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GPU based 3D feature profile simulation for plasma etch process 조덕균, 유동훈, 육영근, 장원석, 천푸름, 이세아, 임연호 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
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3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etching processes 육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 김진태, 윤정식, 임연호 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |