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Fabrication of Ceramic Line Pattern by UV-nanoimprint lithography of Inorganic Polymers
박준홍, 민경익, 김동표
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 8 |
Fabrication and characterization of non-oxide ceramic pattern by using the UV-NIL
박준홍, 이홍주, 김동표
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
| 7 |
Fabrication of Nanoscale SiC-based Ceramic Patterns with Near-zero Residual Layers Using Imprinting Techniques
박준홍, 김동표
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
| 6 |
Fabrication of Nano-scale SiCN Ceramic Patterning using Photocurable Polyvinylsilazane Copolymer via UV-NIL and TPA
이동훈, 홍난영, 김동표
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
| 5 |
Residual Layer 제어를 위한 SiC계 세라믹 패터닝 방법과 Reactive Ion Etching
박준홍, 홍난영, 김동표
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
| 4 |
SiCN-based Ceramic Pattern Using Viscous Photocurable Preceramic Polymers via Lithographic Processes
Pham Anh Tuan, 김동표
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
| 3 |
Fabrication of Nanoscale SiC-based Ceramic Patterns with Near-zero Residual Layers Using Imprinting Techniques and RIE
박준홍, 홍난영, 김동표
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Synthesis of UV-curable inorganic polymers for SiCN ceramic patterning via photolithography method
팜안투안, 김동표
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Synthesis of Photocurable Preceramic Polymer for UV-nanoimprinting Lithography
Pham Anh Tuan, 김동표
한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |
