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A cyclic process to control the diameter of SiO2 contact holes 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Effect of gas composition on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas 박정근, 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Hydrophobization of Silk Fibroin Nanofiber Surfaces by Fluorocarbon Plasma Treatment to Regulate Cell Adhesion and Proliferation Behavior 이민영, 이재백, 방수미, 박원호, 조동환, 권오형 한국고분자학회 2014년 봄 학술대회 |
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Angular dependence of SiO2 etch rate in fluorocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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Realistic and real-time contact hole etch process simulation: 3D-SPEED 육영근, 임연호, 장원석, 유동훈, 최광성, 조덕균, 이세아 한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Multi-GPUs based 3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etch process 조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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3D feature profile simulation coupled with realistic surface kinetic chemical reaction for pulsed etch process in fluorocarbon plasmas 조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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Plasma surface reaction modeling coupled with global bulk plasma model in fluorocarbon plasmas 이세아, 천푸름, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 권득철, 임연호, 장원석 한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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Puled Plasma를 이용하여60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive coupled plasma에서 SiO2의 식각특성에 관한 연구 염근영, 전민환, 김회준 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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Plasma surface kinetic studies of silicon dioxide etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas 이세아, 천푸름, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |