| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
강유전체 메모리 소자를 위한 Ir 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Iridium Thin Film for Ferroelectric Random Access Memory 임동규, 정지원|Dongkyu Lim, Chee Won Chung 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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강유전체 메모리 소자를 위한 Ir 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Iridium Thin Film for Ferroelectric Random Access Memory 임동규, 정지원|Dongkyu Lim, Chee Won Chung 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |