화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Nano Floating Gate Memory by Bi-Nanocrystals Self-Embedded in Bi-based Pyrochlore Dielectrics Grown at Room Temperature   
정현준, 허성기, 박종현, 윤순길
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
2 고유전 산화막 Lanthanium oxide의 PEALD 증착법|Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Lanthanium oxide for High-k gate dielectric
이은주, 고명균, 김범용, 박상균, 김헌도, 박종완
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
1 CMOS 적용을 위하여 질소플라즈마 효과를 이용한 초박막 HfO2 게이트 유전체의 전기적, 신뢰성 특성 평가|Electrical and reliability characteristics of ultra-thin HfO2 gate dielectrics by N2 plasma treatment for CMOS application
김전호, 최규정, 윤순길, 이원재, 김진동
한국재료학회 2004년 가을 학술대회