번호 | 제목 |
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Nano Floating Gate Memory by Bi-Nanocrystals Self-Embedded in Bi-based Pyrochlore Dielectrics Grown at Room Temperature 정현준, 허성기, 박종현, 윤순길 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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고유전 산화막 Lanthanium oxide의 PEALD 증착법|Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Lanthanium oxide for High-k gate dielectric 이은주, 고명균, 김범용, 박상균, 김헌도, 박종완 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
1 |
CMOS 적용을 위하여 질소플라즈마 효과를 이용한 초박막 HfO2 게이트 유전체의 전기적, 신뢰성 특성 평가|Electrical and reliability characteristics of ultra-thin HfO2 gate dielectrics by N2 plasma treatment for CMOS application 김전호, 최규정, 윤순길, 이원재, 김진동 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |