화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 The effect of interaction of MSSQ copolymer and porogen on nanoporous low-k thin film structure
최연승, 김상율*, 진문영**, 이창진**, 차국헌***
한국고분자학회 2002년 가을 학술대회
2 The Effects of NH3 Plasma Treatment on the Density Profile of Low Dielectric Organosilicate Films
김수한, 주상현, 차국헌, 한준희*
한국고분자학회 2002년 봄 학술대회
1 A Novel Characterization of Nanoporous Structures in Ultra Low-k Films Using Tapping Mode-AFM
주상현, 김연상, 이준구, 차국헌, 진문영*, 윤도영**
한국고분자학회 2001년 봄 학술대회