| 번호 | 제목 |
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Cu CMP에서 나노 콜로이달 입자의 크기가 연마제거율과 Cu/TaN 선택비에 미치는 영향|Effect of Nano-Colloidal Abrasive size on Removal Rate and Selectivity of Cu/TaN Film in Cu CMP 박진형, 김민석, 백운규, 박재근 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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STI-CMP에서 나노 세리아 슬러리에 첨가되는 계면 활성제의 농도, pH, 분자량의 영향|Effect of pH, Molecular Weight, and Concentration of Surfactant in Nano-Ceria Slurry on STI-CMP LEE Jae-Seong, CHUN Jin-Hwan, LEE Myung-Yoon, PARK Jea-Gun 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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질화물계 초격자 다층박막이 코팅된 절삭공구의 기계적 물성과 절삭성능의 변화|Mechanical property and cutting performance of cutting tool coated with nano-multilayered superlattice nitride film 임희열, 박종극, 최두진, 백영준 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 계면 활성제 분자량의 영향|Effects of molecular weight of surfactant in Nano Ceria Slurry on Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing 이명윤, 강현구, Takeo Katoh, 박형순, 백운규, 박재근 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
