| 번호 | 제목 |
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구리 배선 공정에서 구리 산화막 제거가 전해 또는 무전해 도금 박막에 미치는 영향 연구 임태호, 구효철, 이창화, 김재정 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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ArF resist와 EUV resist의 식각특성 비교 권봉수, 이학주, 김선일, 이내응, 이성권 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Gas Injector Effect on Gas Flow Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher 이재원, 채희엽, 박근주, 채환국 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
