| 번호 | 제목 |
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실시간 외란에 강인한 Two Stage 반복 학습제어기를 이용한 RTP 장치 웨이퍼 온도의 다변수 제어 조문기, 이광순, 주상래, 이용희 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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RTP 시스템내의 웨이퍼 온도 균일도를 위한 모델링 및 모사|Modeling and Simulation for Wafer Temperature Uniformity in RTP System 박형진, 이정석, 박선원|Hyungjin Park, Jeongseok Lee, Sunwon Park 한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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RTP 공정에 대한 모델링 및 제어|Modeling and Control of Rapid Thermal Processing 박형진, 복진광, 박선원|Hyung-Jin Park, Jinkwang Bok, Sunwon Park 한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
