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Shadow Mask 식각 공정을 위한 Multi-Nozzle 시스템의 최적 설계|Optimal Design for a Multi-Nozzle system of Shadow Mask Etching process
김병철, 정재학, 이문용, 이건우|Byeungcheol Kim, Jaehak Jung, Moonyong Lee, Gunwoo Lee
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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Display Shadow Mask(DSM)용 Invar 합금의 식각 공정에 관한 연구|Studies on the Etching Process of Invar Alloy used in DSM
윤덕선, 박진호, 이근우|Deoksun Yoon, Chinho Park, Gunwoo Lee
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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사진공정을 이용한 RTD(Resistance Temperature Detector) 센서의 제조|The Fabrication of RTD(Resistance Temperature Detector) sensor using Photolithography
김지광, 김종성, 신영화|Jikwang Kim, Jongsung Kim, Younghwa Shin
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
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헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각|Generation of Neutral Stream From Helicon Plasma and Its Application to Si Dry Etching
정석재, 양호식, 조성민|Seok-Jae. Jeong, Ho-Sik. Yang, Sung Min. Cho
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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Picture Shadow Mask의 식각 공정에 관한 연구|A Study on the Etching Process of Picture Shadow Mask
윤덕선, 여석기, 박진호|Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Chinho Park
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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비휘발성 반도체 메모리 응용을 위한 유도결합 플라즈마에서 Pt/PZT/Pt 박막 커패시터의 건식 식각|Dry Etching of Pt/PZT/Pt Thin Film Capacitors in an Inductively Coupled Plasma (ICP) for Nonvolatile Memory
정지원, 김창정|Chee Won Chung, Chang Jung Kim
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
