| 115 |
Bonding solutions for wafer-level MEMS packaging
손윤철
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성
백정호, 박준식, 이혜진, 이낙규, 강성군
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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다층 RIE Electrodes를 이용한 아크릴의 O2/N2 Plasma etching(O2/N2 Plasma etching of Acrylic in a Multi RIE Electrodes system)
김재권, 박연현, 백인규, 주영우, 김주형, 조관식, 이제원
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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미소 인장시험을 이용한 Bi-Te 열전박막의 기계적 물성 평가
한승우, 이상주, 최현주, 김동호, 김욱중
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Bio chip의 양산을 위한 마이크로급 구조물을 갖는 SUS 금형제작 및 평가
조민수, 김규채, 조시형, 임현우, 조영식, 조병기, 서석영, 신상택, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Electro-Wetting 응용을 위한 불화유기박막의 특성 평가
서정호, 김진영, 이정환, 임현우, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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O2/SF6 플라즈마를 이용한 Poly ethylene terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구(Dry Etching of Poly ethylene terephthalate(PET) in O2/SF6 Plasmas)
박연현, 주영우, 김재권, 백인규, 이진희, 이제원, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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수용성 식각 잔여물의 효과적인 건식 세정법
정재목, 임권택, 김승호, 이민영
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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Colloid and Interface Science in Micro/Nanofluidics
전명석
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
| 106 |
Synthesis and Characterization of Photocurable Epoxy-modified Polyvinylsilazane for Lithography Applications
Pham Anh Tuan, 김동표
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
