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Deposition of SiO2 Layer in a 300mm Rapid Thermal Process Equipment using Remote Oxygen Plasma 이혜원, 주상래, 서승택, 이광순 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 and BCl3-based gas Plasmas 강동진, 이건교, 이병택 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Study on characteristics of cobalt film deposited by Remote Plasma ALD method 김근준, 이근우, 한세진, 정우호, 배규열, 전형탁 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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Non-thermal plasma process for deSOx and deNOx of industrial flue gas 고동준, 김경태, 신동남, 진영주, 김인호 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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Hydrogen Production from High Temperature Water Vapor Electrolysis 강정식, 문동주, 심재금, 노원석, 류종우, 이상득, 홍석인 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
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RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 CF4 및 N2 Gas 영향에 관한 연구 홍주형, 김상식, 신중욱 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
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PECVD를 이용한 가시광선감응 TiO2박막제조 차근섭, 조동련, 최남영, 김귀성 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
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Preparation of Spherical SiO2 Nanoparticles from Sprayed Droplets of Tetraethylorthosilicate by the Flame Spray Pyrolysis 장희동, 장한권 한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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Synthesis of Nano Powders by Thermal Plasma Process 김헌창, 정민희, 황일선 한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
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Three Dimensional Simulation of the Process Gas Flow Pattern in a Plasma Enhanced Rapid Thermal Processor for Process Performance Analysis 주상래, 이혜원, 서승택, 이광순 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |