화학공학소재연구정보센터
번호 제목
45 Deposition of SiO2 Layer in a 300mm Rapid Thermal Process Equipment using Remote Oxygen Plasma
이혜원, 주상래, 서승택, 이광순
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
44 Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 and BCl3-based gas Plasmas
강동진, 이건교, 이병택
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
43 Study on characteristics of cobalt film deposited by Remote Plasma ALD method
김근준, 이근우, 한세진, 정우호, 배규열, 전형탁
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
42 Non-thermal plasma process for deSOx and deNOx of industrial flue gas
고동준, 김경태, 신동남, 진영주, 김인호
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
41 Hydrogen Production from High Temperature Water Vapor Electrolysis
강정식, 문동주, 심재금, 노원석, 류종우, 이상득, 홍석인
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
40 RF Plasma Cleaning System을 이용한 광학렌즈 세정에 미치는 CF4 및 N2 Gas 영향에 관한 연구
홍주형, 김상식, 신중욱
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
39 PECVD를 이용한 가시광선감응 TiO2박막제조
차근섭, 조동련, 최남영, 김귀성
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
38 Preparation of Spherical SiO2 Nanoparticles from Sprayed Droplets of Tetraethylorthosilicate by the Flame Spray Pyrolysis
장희동, 장한권
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회
37 Synthesis of Nano Powders by Thermal Plasma Process
김헌창, 정민희, 황일선
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회
36 Three Dimensional Simulation of the Process Gas Flow Pattern in a Plasma Enhanced Rapid Thermal Processor for Process Performance Analysis
주상래, 이혜원, 서승택, 이광순
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회