화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
119	사파이어 기판에 sub-micron급 패터닝을 위한 나노 임프린트 리소그래피 공정 박형원, 변경재, 홍은주, 이헌 한국재료학회 2009년 봄 학술대회
118	Surface Texturing of GaN Surface using Block Copolymer Template 황동준, 김태준, 김홍렬, 김지현, 방준하 한국고분자학회 2008년 봄 학술대회
117	Synthesis and Characterization of Organosilicate Polymer E-Beam Resists 심재환, 이성일, 남성욱, 김기범, 윤도영 한국고분자학회 2008년 봄 학술대회
116	Cu mask를 이용한 높은 선택도의 아크릴 건식식각 연구 박주홍, 이제원, 김재권, 이성현 한국재료학회 2008년 가을 학술대회
115	AAO와 Nano-Imprint Lithography를 이용한 sapphire 기판 상의 나노 패턴 형성에 관한 연구 황재연, 변경재, 이헌 한국재료학회 2008년 가을 학술대회
114	TFT-LCD공정의 폐액 처리를 위한 증류공정 연구 윤문규, 박명준, 구기갑, 이문용 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
113	The effects of amine-content in cleaning solutions on the residue removal of Cu interconnection 고천광, 이원규 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
112	Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발 강형범, 조시형, 서정호, 조민수, 임현우, 박진구 한국재료학회 2008년 봄 학술대회
111	Si Thinning Damage에 의한 Si 웨이퍼 표면의 미세구조 연구 우태기, 유권종, 김은경 한국재료학회 2008년 봄 학술대회
110	Investigation of Silicon Nitride Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition Using Si₂Cl₆ and NH3 as the Precursors 윤원덕, 나사균, 박광철, 최병준, 이원준, 서정혜, 이연승, 김헌도, 박상기 한국재료학회 2008년 봄 학술대회