| 109 |
반도체 세정기술의 개발 동향
백귀종
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
| 108 |
The Study of Plasma Damage on Wafer Side Wallin Metal Etch Process
함태석, 최정동
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
| 107 |
유기 템플레이트를 이용한 이종구조의 금속-산화아연 세그먼트된 나노와이어 합성
윤은유, 최승목, 서민호, 김형주, 임은자, 김원배
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
| 106 |
Fabrication of Tunable Encode Based on Rugate PSi
손홍래, 김성진, 조성동
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회 |
| 105 |
Effect of Hydrophilic Nanoparticles on the Ordering of Block Copolymer Thin Films
박성찬, 방준하, 하정숙, Bumjoon J. Kim, Craig J. Hawker, Edward J. Kramer
한국고분자학회 2007년 가을 학술대회 |
| 104 |
A study on patterning over-cladding using Fluorinated copolymer as a material of planar lightwave circuit(PLC)
이우균, 김영식, 위성유, 정진숙, 김진봉
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회 |
| 103 |
TFT-LCD array 절연막용 NQD 에스테르의 합성 및 특성연구
이효정, 김효진, 조호영, 이삼종, 박은정, 류언주, 김순학, 곽기섭, 박이순
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회 |
| 102 |
Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas
이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구
고천광, 이원규
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 100 |
Multi-directional plasma etching using a Faraday Cage
이승행, 민재호, 이진관, 장일용, 문상흡
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
