| 68 |
Al이 도핑된 ZrO2 게이트 절연 박막을 이용한 나노선 전계효과트랜지스터 소자의 제작과 특성 분석
배민영, 하정숙
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
| 67 |
A Study on the gas phase reaction of Zr precursor for DRAM capacitor
신진호, 강상우, 김진태, 윤주영
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
| 66 |
CuⅡ (dmamb)2 전구체를 이용한 전해도금용 구리 씨앗층의 원자층 증착에 관한 연구
진광선, 박재민, 박광민, 이원준
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
| 65 |
Hexachloro Disilane(Si2Cl6) 전구체를 이용한 3D 소자용 ONO(SiO2/SiN/SiO2)다층 박막구조의 후속 열처리공정에 따른 메모리특성에 관한 연구
이한결, 이원준, 정종완
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
| 64 |
Comparison of storage characteristics between Au and Ag nano particles in NFGM
이준희, 최덕균
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
| 63 |
Quartz Crystal Microbalance(QCM, GaPO4 sensor)을 활용한 Tris-PYS(TPS) precursor의 Silicon Oxide 원자층 증착 메카니즘 분석에 관한 연구
박재민, 진광선, 박광민, 이원준
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
| 62 |
후면식각과 알루미나 부동화막을 적용한 결정질 실리콘 태양전지
김범성, 신정현, 이홍재, 이돈희
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
| 61 |
염료감응형 태양전지의 Core-shell 구조를 이용한 재결합 방지 효과 연구
신진호, 강상우, 김진태, 신용현, 고문규, 윤주영
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
| 60 |
Atomic layer deposition of nitrogen doped ZnO and application for highly sensitive coreshell nanowire photo detector
정한얼, 강혜민, 천태훈, 김수현, 김도영, 김형준
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
| 59 |
Effects of nitrogen reactive gas on PEALD TaNx diffusion barrier for Cu interconnect
박재형, 문대용, 한동석, 신새영, 박종완
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
