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학술대회 목록보기

번호	제목
99	Bosch process에 의한 식각형상 예측을 위한 전산모사 김창규, 이도선, 이원종 한국재료학회 2007년 가을 학술대회
98	Understanding of dry etching of polycarbonate based on O₂plasmas 주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이성현, 조관식, 송한정, 이제원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회
97	Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF₆, SF₆/Ar and SF₆/CH₄ plasmas. 박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정 한국재료학회 2007년 가을 학술대회
96	Compariosn of etch characteristics in deep Si etching using PFC- and UFC-containing plasmas 이형무, 김창구 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
95	Focused Ion Beam에 의한 GaN Etching의 특성분석 김홍렬, 안재희, 김지현 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
94	Ru CMP(chemical mechanical planarization) 에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향 조병권, 김인권, 권태영, 강봉균, 박진구, 박형순 한국재료학회 2007년 봄 학술대회
93	UV-Nano imprint Lithography를 이용한 Metal Pattern제작 박정갑, 이병규, 이두현, 정근희, 김진수, 이창형, 서수정 한국재료학회 2007년 봄 학술대회
92	Fabrication of UV-nanoimprint stamp by using colloidal lithography 김태선, 정건영, 장윤희, 김상묵, 김기석, 이경미 한국재료학회 2007년 봄 학술대회
91	Fabrication and testing of thin film bulk acoustic wave resonator using deep Si etch process 안영배, 문정현, 이종호, 이재빈, 정학준, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회
90	Multi-encoded Rugate Porous Silicon Interferometer as Nerve Agents Sensors 손홍래, 정경선, 조성동 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회