학술대회 목록보기 번호 제목 1 Chloride VPE (CVPE) 법을 이용한 GaN 증착공정의 열역학적 해석|Thermodynamic Analysis of GaN Deposition Process using Chloride VPE (CVPE) Technique신희섭, 신무환, 박진호|Heesub Shin, Moo-Whan Shin, Chinho Park한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 21 22 23 24 25 26 27