| 82 |
The Investigation of Defect Generation by Water Droplet on the Chemically Amplified Photoresist
김정훈, 안성일, 김재현, 진왕철
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
| 81 |
Synthesis and Application of Polymer Containing Photo-acid Generator for Atomic Force Microscope Lithography
권기진, 장유진, 안석훈, 이해원
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
| 80 |
The effect of water-contact and evaporation on the roughness of photoresist for immersion lithography
안성일, 김재현, 진왕철
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
| 79 |
Negative Molecular Resists with Calixarene Derivatives for DUV Lithography
박지영, 김진백, 구세진
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
| 78 |
Kinetics of Cationic Photopolymerizations of UV-curable Epoxy-based Negative Photoresists With and Without Silica Nanoparticles
주형태, 조정대, 한승택, 이상섭, 홍진후
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
| 77 |
Photoresist for 193nm Immersion Lithograhpy, Applicable for the Resist Reflow Process
김상진, 박주현, 김경문, 서동철, 조승덕, 주현상, 송지영, 임현순, 권민원, 김진호
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 76 |
Gas Injector Effect on Gas Flow Uniformity in Inductively Coupled Plasma Etcher
이재원, 채희엽, 박근주, 채환국
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 75 |
Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각
조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 74 |
Flexible Display Development Trend : Patterning Methods for Organic Thin Film Transistors
서민철
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
| 73 |
Fabrication of Black Matrix Patterns and RGB Arrays by Capillary Molding
정훈의, 이성훈, 서갑양
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
