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전기도금공정에 의해 제조된 Ni 및 Ni합금의 스트레스 변화에 대한 연구|Stress changes of electrodeposited Ni and Ni-based thin film alloys
유호준, 송락영, 고장면, 박덕용
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Dynamic modeling and simulation of micro fuel cells
신동일, 오태훈
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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높은 표면적대 부피비를 갖는 Micro-PCR chip에서의 DNA 증폭 및 CE 분석
이윤경, 윤영수, 이달호, 김종성
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Fabrication of Electrochemical Microcapacitors using Conducting Polymer Microelectrodes
성주환, 김세준, 이건홍
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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MEMS 기술을 이용한 초소형 연료전지의 제작 및 특성연구
최범진, 선양국, 하흥용, 조은애, 홍성안, 오인환
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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Fabrication of secondary structures for MEMS using AAO(Anodic Aluminum Oxide) nano-template
지상은, 이건홍
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry
함동은, 신수범, 안진호
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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가스 센서 응용을 위한 압전 마이크로 칸티레버의 제작 및 특성|Fabrication and Properties of Piezoelectric Microcantilever for Gas Sensor Application
신상훈, 송상근, 백준규, 박효덕, 이재찬
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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바이오칩 응용을 위한 저온 소결형 PZT 후막의 졸 코팅 재료와 횟수에 따른 물성 및 전기적 특성|Properties and Electrical Characterization by Materials and the number of Times of Sol Coating of PZT Thick Film for Biochip
박재홍, 손진호, 김태송, 황재섭, 박형호, 김환
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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직접접합 Si3N4∥SiO2 실리콘 기판쌍의 선형가열에 의한 보이드결함 제거|Eliminating Voids using a Fast Linear Annealing in Direct Bonded Si/Si3N4∥SiO2/Si Wafer Paires
정영순, 송오성
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
