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Etch characteristics of GeSbTe thin films by inductively coupled plasma reactive ion etching
박익현, 이장우, 정지원
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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Sensor Device Based on Photoluminescent Porous Silicon Chip
조성동, 김범석, Arun Kummar Sharma, 송진우, 권형준, 권용희, 장승현, 손홍래
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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Fabrication of Chemical Sensing Device Based on DBR Porous Silicon
조성동, 장승현, 김범석, 박종선, 김성기, 고영대, 손홍래
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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Growth of Etch Pits on Aluminium Cathode Film for Aluminum Electrolytic Capacitor during AC Etching
김홍일, 김성한, 신진식, 김한주, M. Sakairi, H. Takahashi, 박수길
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
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TFT-LCD용 Negative형 Polyimide 층간절연막의 합성 및 물성평가
김정무, 박이순, 허영준, 권영환, 이성호
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
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Fabrication of Nanowires using Block Copolymer Nano-porous Templates with High Aspect Ratio
이정인, 장정아, 오승원, 장범진, 유재웅, 김진곤
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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A study on the dry cleaning of patterned wafer using single-phase mixtures with supercritical carbon dioxide
한갑수, 임종성, 유기풍
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Run-to-Run Control of Inductively Coupled C2F6 Plasma Etching of SiO2: Multivariable Controller Design and Numerical Application
서승택, 이광순, 양대륙, 최범규
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Atomic scale etching of poly-Si in inductively coupled Ar and He plasmas
김태호, 민재호, 문상흡, 윤형진, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Photo-resist Etching in Si(100) Wafer Cleaning through Large Area He/O2 and Ar/O2 Plasma Source at Atmospheric Pressure
정미희, 최호석
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
