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MEMS 제조를 위한 전기증착에서의 펄스 및 역펄스 전류의 영향
정하용, 홍 찬, 탁용석, 김봉환, 김만중, 전국진
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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사진 식각 공정을 이용한 all polymer micro-DMFC 제조 공정에 관한 연구
차혜연, 최후곤, 남재도, 이영관, 조성민, 이은숙, 이정규, 정찬화
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Rapid DNA Amplification on Silicon Based Micro-PCR Chip Controlled by Designed Thermal Cycling System
이중석, 김욱은, 최재순, 윤성욱, 한상엽, 김현정
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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Angular dependences of etch rates of Si and fluorocarbon polymer in SF6, C4F8, and O2 plasmas for advanced Bosch process
민재호, 이겨레, 이진관, 문상흡
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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자기조립윤활제로 코팅한 실리콘웨이퍼의 표면특성 변화 고찰
최성훈, 강호종
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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BioSystems Education and BioMEMS Research at KAIST
박제균;조영호
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Rapid three-dimensional passive rotation micromixer using breakup process
박성진;김중경;박준하;정석;정찬일;장준근
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Protein detecting sensor by using piezoelectric MEMS resonators
이정훈;김형준;김태송
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Recent MEMS Activities in POSTECH MEMS Lab.
이승섭
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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미세화학시스템의 제작과 응용|Fabrication of Microchemical Systems and Their Applications
노점임,조현용,전민구,우성일|Jermim Noh,Hyun Yong Cho,Min Ku Jeon,Seong Ihl Woo
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
