| 번호 | 제목 |
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| 11 |
상압플라즈마 처리에 의한 PMMA의 표면처리 고천광, 김도현, 김태경, 이원규 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
| 10 |
The effects of amine-content in cleaning solutions on the residue removal of Cu interconnection 고천광, 이원규 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 9 |
Removal of organic residue on glass substrates using an atmospheric pressure plasma 고천광, 김태경, 박세진, 이원규 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 8 |
구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 7 |
활성산소종의 확산에 의한 실리콘 산화막 형성 이원규, 고천광 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 6 |
Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu의 선택적 용해도에 대한 특성분석 이진욱, 고천광, 이원규 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 5 |
저온 산화공정을 이용한 실리콘 산화박막 성장 및물성 분석 고천광, 이원규 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
| 4 |
저온 산화공정에 의한 실리콘 산화막 제조 및 물성 분석 고천광, 최병욱, 이원규 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
| 3 |
플라즈마 발생원과의 거리에 따른 유기오염물 제거 효율성 및 특성 분석 고천광, 김광우, 이원규 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
| 2 |
졸-겔법으로 Ag가 함유된 TiO2 박막의 제조 및 특성 분석 고천광, 이원규 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
