번호 | 제목 |
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21 |
반도체 세정기술의 개발 동향 백귀종 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
20 |
고압 이산화탄소와 반도체세정혼합물의 운점 권세호, 임종성, 한갑수, 유기풍, 원종우 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
19 |
반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발 손일룡, 김태곤, 유영삼, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
18 |
밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조 임정수, 구교욱, 최승주, 성보람찬, 조중근, 박진구 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
17 |
불소가스 제조와 활용 김홍곤 한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
16 |
45nm 반도체 세정기술 조중근 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
15 |
초임계 이산화탄소, 반도체세정제, 계면활성제 혼합물의 Cloud Point 권세호, 임종성, 유기풍, 한갑수 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
14 |
초임계 이산화탄소와 반도체 세정 첨가제 혼합물의 상거동 권세호, 한갑수, 유기풍, 임종성 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
13 |
과산화수소를 대체하여 고농도의 오존수를 사용한 SC1의 오염물 제거 효율 평가 이승호, 박진구, 이상호, 김태곤, 권태영 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
12 |
무수 IPA 생산을 위한 공비증류공정과 추출증류 공정 사이의 비교 연구 조정호, 이병돈, 박상욱 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |