화학공학소재연구정보센터
번호 제목
21 반도체 세정기술의 개발 동향
백귀종
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회
20 고압 이산화탄소와 반도체세정혼합물의 운점
권세호, 임종성, 한갑수, 유기풍, 원종우
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
19 반도체 세정 공정평가를 위한 저비용 나노입자 오염장치 개발
손일룡, 김태곤, 유영삼, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
18 밀폐된 Chamber 에서 DHF 세정 후 IPA Vapor를 이용한 매엽식 기판 건조
임정수, 구교욱, 최승주, 성보람찬, 조중근, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
17 불소가스 제조와 활용
김홍곤
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
16 45nm 반도체 세정기술
조중근
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
15 초임계 이산화탄소, 반도체세정제, 계면활성제 혼합물의 Cloud Point
권세호, 임종성, 유기풍, 한갑수
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
14 초임계 이산화탄소와 반도체 세정 첨가제 혼합물의 상거동
권세호, 한갑수, 유기풍, 임종성
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
13 과산화수소를 대체하여 고농도의 오존수를 사용한 SC1의 오염물 제거 효율 평가
이승호, 박진구, 이상호, 김태곤, 권태영
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
12 무수 IPA 생산을 위한 공비증류공정과 추출증류 공정 사이의 비교 연구
조정호, 이병돈, 박상욱
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회