화학공학소재연구정보센터
번호 제목
20 Cu CMP slurry 개발을 위한 첨가제 영향성 연구
김영준, 김재정
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회
19 용액에 포함된 Amine과 Carboxyl group의 Cu식각잔류물 제거특성
고천광, 김아름, 손향호, 이원규
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회
18 All wet-processed OLEDs
정 은, 이경희, 이동현, 조성민
한국화학공학회 2008년 가을 학술대회
17 구리 배선 공정에서 구리 산화막 제거가 전해 또는 무전해 도금 박막에 미치는 영향 연구
임태호, 구효철, 이창화, 김재정
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
16 Scanning Probe Microscope와 Nano indentation을 이용한 W-C-N 확산방지막의 특성 연구
김수인, 이창우
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
15 CMP개론 및 현황 (The State-of-the-Art in CMP Technology)
박진구
한국재료학회 2007년 가을 학술대회
14 Cu BEOL을 위한 혼합세정액의 개발 및 성분별 특성 분석
이진욱, 이원규
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
13 Electrolyte development for electroless plating of cladding layers in copper interconnection
윤형진, 김태호, 김창구
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
12 정전류의 펄스 파형을 이용하여 형성된 구리 배선의 특성 및 전착 형태 연구
김승수, 조성기, 김재정
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
11 반도체 배선용 구리 전해 도금에 있어 유기 첨가제를 이용한 과전착 조절 공정
황순식, 조성기, 김수길, 김재정
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회