화학공학소재연구정보센터
번호 제목
7 초임계 이산화탄소를 이용한 건식 에칭의 공정조건 및 첨가제 배합에 따른 에칭 특성
정재목, 배재현, 임권택
한국공업화학회 2008년 봄 학술대회
6 Anodic Alumina Oxide (AAO) template와NIL(nano imprinting lithography)방법을 이용한세포배양용 나노패턴 제작 및 응용
신예숙, 선 경, 이규백
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
5 Fluorocarbon 박막을 이용한 스탬프 복제기술 개발
김규채, 반창현, 박지훈, 조민수, 임현우, 손성기, 이해곤, 이재숙, 박진구
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
4 초임계 이산화탄소를 이용한 반도체 웨이퍼 막질의 선택적 건식 에칭
정재목, 정유선, 박성열, 임권택
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
3 GaN 나노 기둥 성장을 위한 AAO template에 관한 연구
김도훈, 박진호, 나심엑터, 김보혜
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
2 플라즈마 에칭을 이용한 나노임프린트 패턴의 실리콘 복제
이동일, 최대근, 정준호, 이응숙, 최준혁
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
1 ECR 플라즈마 반응기의 2차원 전산모사|A Two Dimensional Simulation of an ECR Plasma Reactor
남상기, 신치범|S. K. Nam, C. B. Shin
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회