| 19 |
Multiscale simulation of plasma etching process from molecular interactions to feature profile
육영근, 유혜성, 조덕균, 장원석, 유동훈, 최광성, 임연호
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Advanced 3D feature profile simulation for realistic plasma etch studies
육영근, 유동훈, 조덕균, 최광성, 임연호, 장원석, 이세아, 천푸름
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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GPU computing platform for ballistic transport in 3D feature profile simulation of plasma etching process
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Realistic and real-time contact hole etch process simulation: 3D-SPEED
육영근, 임연호, 장원석, 유동훈, 최광성, 조덕균, 이세아
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
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Multi-GPUs based 3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etch process
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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3D feature profile simulation of mask effects in high aspect contact hole etch process
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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Large scale feature profile simulation for plasma etch process of high aspect ratio contact hole
육영근, 유동훈, 장원석, 최광성, 조덕균, 천푸름, 이세아, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
| 12 |
3D feature profile simulation coupled with realistic surface kinetic chemical reaction for pulsed etch process in fluorocarbon plasmas
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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Plasma surface kinetic studies for high-aspect ratio contact hole etch profile simulation
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 권득철, 임연호, 장원석
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
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Plasma surface reaction modeling coupled with global bulk plasma model in fluorocarbon plasmas
이세아, 천푸름, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 권득철, 임연호, 장원석
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
