42 |
Fabrication of three dimensional Cu nanostructures 조성운, 김창구 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
41 |
Control of the roughness on the sidewall of Si trenches during the Bosch process 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
40 |
BCl3 Gas와 Ar Neutral Beam을 이용한 High-k Dielectric Material의 초정밀 저손상 원자층 식각 김찬규, 민경석, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
39 |
Engineering of catalytic and semiconductor surfaces 문상흡 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
38 |
Reduction of contact hole diameter by alternating etching and deposition using a fluorocarbon plasma 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
37 |
The role of steady-state fluorocarbon film during SiO2 etching in C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas 조성운, 김창구 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
36 |
기능기에 따른 구리산화물 제거 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
35 |
고 굴절율 레진 기반의 마이크로-나노 구조 형성을 통한 발광다이오드의 광추출 효율 향상 조중연, 변경재, 박형원, 이성환, 이 헌 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
34 |
Angular dependence of SiO2 etch rates in C4F6/Ar/O2 and C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas 조성운, 김창구 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
33 |
산화아연 sol-gel 패터닝 공정을 통한 질화물계 발광다이오드의 광추출효율 향상 연구 이성환, 변경재, 박형원, 이헌 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |