화학공학소재연구정보센터
번호 제목
42 Fabrication of three dimensional Cu nanostructures  
조성운, 김창구
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
41 Control of the roughness on the sidewall of Si trenches during the Bosch process
김준현, 조성운, 김창구
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
40 BCl3 Gas와 Ar Neutral Beam을 이용한 High-k Dielectric Material의 초정밀 저손상 원자층 식각
김찬규, 민경석, 염근영
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
39 Engineering of catalytic and semiconductor surfaces
문상흡
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
38 Reduction of contact hole diameter by alternating etching and deposition using a fluorocarbon plasma
조성운, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
37 The role of steady-state fluorocarbon film during SiO2 etching in C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas
조성운, 김창구
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
36 기능기에 따른 구리산화물 제거 특성 연구
고천광, 이원규
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
35 고 굴절율 레진 기반의 마이크로-나노 구조 형성을 통한 발광다이오드의 광추출 효율 향상
조중연, 변경재, 박형원, 이성환, 이 헌
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
34 Angular dependence of SiO2 etch rates in C4F6/Ar/O2 and C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasmas
조성운, 김창구
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회
33 산화아연 sol-gel 패터닝 공정을 통한 질화물계 발광다이오드의 광추출효율 향상 연구
이성환, 변경재, 박형원, 이헌
한국재료학회 2010년 봄 학술대회