번호 | 제목 |
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5 |
Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각 민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
4 |
차세대 자성 메모리에의 응용을 위한 나노미터 크기의 magnetic tunnel junction 패터닝 신별, 정지원, 박익현 한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
3 |
실리콘 함유 하이브리드 물질의 차세대용 포토레지스트로의 응용 곽영제 한국고분자학회 2005년 가을 학술대회 |
2 |
E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각 박익현, 이장우, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
1 |
하드 마스크를 이용한 CoZrNb과 CoTb 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각 신 별, 박익현, 정지원 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |