화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 Pt 하드마스크를 이용한 Ti 박막의 고밀도 플라즈마 식각
민수련, 조한나, 정지원, 리유에롱
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
4 차세대 자성 메모리에의 응용을 위한 나노미터 크기의 magnetic tunnel junction 패터닝
신별, 정지원, 박익현
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회
3 실리콘 함유 하이브리드 물질의 차세대용 포토레지스트로의 응용
곽영제
한국고분자학회 2005년 가을 학술대회
2 E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각
박익현, 이장우, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
1 하드 마스크를 이용한 CoZrNb과 CoTb 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
신 별, 박익현, 정지원
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회