화학공학소재연구정보센터
번호 제목
27 A Comparison of Onset of Significant Void Models in Forced Convection Subcooled Boiling Database
심재우, 이유림, 김태현, 정현원
한국공업화학회 2015년 가을 학술대회
26 Angular dependence of SiO2 etch rate in fluorocarbon plasmas
김준현, 조성운, 김창구
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회
25 γ-alumina 촉매상에서 NF3의 가수분해 및 분해생성물 조사
김용술, 지찬태, 이태훈, 성연백, 박노국, 이태진, 장원철, 최희영
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회
24 Realistic and real-time contact hole etch process simulation: 3D-SPEED
육영근, 임연호, 장원석, 유동훈, 최광성, 조덕균, 이세아
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회
23 Effect of F/C ratio in discharge gases on the angular dependence of etch rates of SiO2
조성운, 김창구
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회
22 Oxidation of CHF3 in a Coaxial Dielectric Barrier Discharge Plasma Reactor
Nguyen Duc Ba, 이원규
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회
21 기체분리막을 이용한 전자산업용 불화가스 분리회수기술
하성용, 김세종, 고형철
한국공업화학회 2012년 가을 학술대회
20 대기압 CHF3 플라즈마 중합에 의한 다양한 표면의 소수성 향상
손향호, 권흥수, 이원규
한국공업화학회 2011년 가을 학술대회
19 Abatement of CF4 and CHF3 using low-pressure plasmas generated by annular-shaped electrodes
허민, 이재옥, 유훈아, 송영훈
한국공업화학회 2011년 가을 학술대회
18 Hydrodechlorination of CHClF2 in Supercritical Fluids
김대우, 김재훈, 김재덕, 강정원
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회