| 번호 | 제목 |
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| 13 |
Ultra high etch selectivity and variation of line edge roughness during etching of silicon oxynitride with patterned extreme ultra-violet resist resist in dual-frequency capacitively coupled plasmas 권봉수, 이정훈, 이내응 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
| 12 |
SiOC low k thin film via solution process. 김정주, 이윤주, 김수룡, 김영희, 최두진 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
| 11 |
Cu/low-k BEOL공정에서의 혼합세정액의 개발 및 세정공정 특성 연구 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
| 10 |
반도체 후공정 세정액 특성 연구 고천광, 원동수, 김태경, 손향호, 이원규 한국공업화학회 2009년 가을 학술대회 |
| 9 |
구리배선에서 식각후잔류물에 대한 세정액의 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 8 |
Multi-directional plasma etching using a Faraday Cage 이승행, 민재호, 이진관, 장일용, 문상흡 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 7 |
반도체 제조공정에서 wafer의 warpage가 노광공정에 미치는 영향성 정명호, 윤상호, 김형희, 김일환, 김종혁, 김상진, 전진호, 박준수, 이중현, 한우성, 문주태, 노용한 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 6 |
렌즈형 휘도향상 필름 제조를 위한 패턴형성 기술 김기영, 이성일, 전애경 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 5 |
Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu의 선택적 용해도에 대한 특성분석 이진욱, 고천광, 이원규 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 4 |
무잔류층 임프린팅을 이용한 자기 조립 단분자 막 패턴 형성에 대한 연구 양기연, 김종우, 이헌 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
