| 번호 | 제목 |
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원거리 플라즈마 ALD(Atomic Layer Deposition)법으로 증착한 ZrN 확산방지막의 특성에 관한 연구|Characteristics of ZrN deffusion barrier deposited by remote plasma enhanced atomic layer deposition method 황윤철, 조승찬, 김인배, 김양도, 김주연, 전형탁 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
| 4 |
대기압 배리어 방전을 이용한 Cu 산화물의 환원|Reduction of copper oxide using atmospheric pressure dielectric barrier discharge 이수빈, 김윤기, 심연근 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
| 3 |
가스 센서 응용을 위한 압전 마이크로 칸티레버의 제작 및 특성|Fabrication and Properties of Piezoelectric Microcantilever for Gas Sensor Application 신상훈, 송상근, 백준규, 박효덕, 이재찬 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
| 2 |
반도체 및 디스플레이에서의 전해도금과 무전해도금 김재정, 이창화 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
| 1 |
MOCVD 법에 의한 Cu 박막의 증착속도 및 증착두께 분포 정원영, 이경옥, 조영상, 김도현 한국화학공학회 1995년 봄 학술대회 |
