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Introduction of BARC and UL for Photolithographic Process: Optical and Chemical Interactions at Interfaces of Polymer Thin Films
Jae Hwan Sim, 이정준, 안재윤, 임수정, 강유진, 정기정, 김수웅, 배영은, 임재봉
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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Etch Resist Ink for Flexible Printed Circuit Board with Inkjet Printing Method
김보영, 김정아, 박성대, 유명재
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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Fabrication of indium-gallium-zinc-oxide TFT using self-aligned imprint lithography
나창연, 조성민
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
| 326 |
Imprint- and plasma-etch-patterned organic light-emitting diode micropixels with through-hole anode connections
박형기, 조성민
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회 |
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Sensitivity Enhancement of SiO2 Plasma Etching Endpoint Detection Using Modified Gaussian Mixture Model
이성현, 채희엽, 이상인
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
| 324 |
Simulation of charge-up coupled with universal surface reaction model in plasma process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 최광성
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
| 323 |
Bridging technology between molecular dynamic simulation and density function theory for plasma etching process
박재형, 육영근, 유혜성, 오민주, 장원석, 배성민, 임연호
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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Assessment of group-13 compounds toward thermal etching of AlF3: a density functional theory study
김미소, 이성민, 최요한, 엄효빈, 송봉근
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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다양한 펄스 플라즈마를 이용한 식각 기술 향상을 위한 연구
홍종우, 오지수, 김희주, 김정완, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Study on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction (MTJ) Materials using Reactive Ion Beam Etching (RIBE) for MRAM devices
김예은, 김두산, 김주은, 길유정, 장윤종, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
