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Hydrofluoroether 플라즈마를 이용한 SiO2 식각 유상현, 김창구 한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
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3D NAND 식각 기술에 적용될 신규 L-HFC 식각 기술 연구 탁현우, 성다인, 홍인표, 문룡, 김동우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Assessment of GHG reduction potential of carbon upcycling technologies 안진주 한국공업화학회 2020년 봄 학술대회 |
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Thermal and mechanical properties of rigid polyurethane foams blown by environmentally-friendly blowing agent 장로빈, 김태석, 이영범, 송광호, 김우년 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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Thermal decomposition of emission gases with low concentration of nitrous oxide using high frequency induction heating 이상구, 강홍석, 손은호, 박인준, 이수복 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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인산알루미늄 촉매를 활용한 HFC-134a 분해 연구 윤재랑, 문승현, 김승곤, 황경란, 최일호, 이규복, 전상구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
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R-32 separation purification from R-410a 오세희, Nguyen Van Duc Long, CHANIAGO YUS DONALD, 이문용 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Quasi-Atomic Layer Etching of SiO2 Layers for Surface Cleaning of Nanoscale Patterns with Fluorocarbons having Low Global Warming Potential 김용재, 채희엽, 조예근, 이상인 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |