화학공학소재연구정보센터
번호 제목
20 Barrier property of nanolaminate layer using Al2O3 and ZrO2 PEALD for flexible electronics application
이종걸, 김성수
한국고분자학회 2012년 가을 학술대회
19 Al2O3/ZrO2 multilayer deposition on plastic substrate by PEALD process for barrier property enhancement
이종걸, 김성수
한국고분자학회 2012년 봄 학술대회
18 비정질 실리콘 박막 태양전지에서 PEALD로 증착된 ZnO interlayer로 인한 셀 특성 향상
이영주, 김동호, 송명관, 정용수, 류승윤, 권정대, 권세훈
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
17 Characteristics of aluminum oxide layers grown by plasma-enhanced ALD for barrier property enhancement
이종걸, 김성수
한국고분자학회 2011년 가을 학술대회
16 Barrier property of alluminumoxide and metal multilayer deposited on plastic substrate for flexible display
이종걸, 김성수
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회
15 Well-aligned arrays of TiN nanotubes fabricated via a atomic layer deposition in AAO nanotemplates
윤재성, 노광수, 김상준, 김봉수, 오세훈
한국재료학회 2011년 봄 학술대회
14 Multilayer formation for barrier coating on plastic substratevia atomic layer deposition and thermal evaporation
장정수, 김현기, 이종걸, 김성수
한국고분자학회 2010년 가을 학술대회
13 Fabrication and Characterization of N-doped ZnO Nanofilms by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
김진환, 최한석, Soumen Das, 한윤봉
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
12 Self-forming barrier process using PEALD Cu-Mn alloy for advanced Cu interconnect
문대용, 한동석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
11 Investigation of MnSixOy self-formed diffusion barrier using  RF-PEALD (Plasma enhanced atomic layer deposition) of Cu-Mn alloy film.
한동석, 문대용, 김웅선, 권태석, 박종완
한국재료학회 2010년 가을 학술대회