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Barrier property of nanolaminate layer using Al2O3 and ZrO2 PEALD for flexible electronics application 이종걸, 김성수 한국고분자학회 2012년 가을 학술대회 |
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Al2O3/ZrO2 multilayer deposition on plastic substrate by PEALD process for barrier property enhancement 이종걸, 김성수 한국고분자학회 2012년 봄 학술대회 |
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비정질 실리콘 박막 태양전지에서 PEALD로 증착된 ZnO interlayer로 인한 셀 특성 향상 이영주, 김동호, 송명관, 정용수, 류승윤, 권정대, 권세훈 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Characteristics of aluminum oxide layers grown by plasma-enhanced ALD for barrier property enhancement 이종걸, 김성수 한국고분자학회 2011년 가을 학술대회 |
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Barrier property of alluminumoxide and metal multilayer deposited on plastic substrate for flexible display 이종걸, 김성수 한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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Well-aligned arrays of TiN nanotubes fabricated via a atomic layer deposition in AAO nanotemplates 윤재성, 노광수, 김상준, 김봉수, 오세훈 한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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Multilayer formation for barrier coating on plastic substratevia atomic layer deposition and thermal evaporation 장정수, 김현기, 이종걸, 김성수 한국고분자학회 2010년 가을 학술대회 |
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Fabrication and Characterization of N-doped ZnO Nanofilms by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 김진환, 최한석, Soumen Das, 한윤봉 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
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Self-forming barrier process using PEALD Cu-Mn alloy for advanced Cu interconnect 문대용, 한동석, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
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Investigation of MnSixOy self-formed diffusion barrier using RF-PEALD (Plasma enhanced atomic layer deposition) of Cu-Mn alloy film. 한동석, 문대용, 김웅선, 권태석, 박종완 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |